| 一种扫描电子显微镜的样品仓 |
| CN202021393773.8 2020-7-15 实用新型 |
| 2021-3-16 |
| 本实用新型提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。安装壳体的朝向样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁。 |
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