| 一种用于程序升温脱附谱的样品台 |
| CN202211513333.5 2022-11-29 发明申请 |
| 2023-3-3 |
| 本发明属于样品表面化学探测技术领域，特别涉及一种用于程序升温脱附谱的样品台。包括超高真空腔体、直流电源、质谱仪、加热模块及降温模块，其中加热模块和降温模块均设置于超高真空腔体内；加热模块包括两个金属支撑件和连接在两个金属支撑件之间的发热板，其中两个金属支撑件设置于降温模块上，且两个金属支撑件通过铜导线与直流电源连接；发热板用于样品的承载和加热脱附，降温模块用于对样品进行降温；质谱仪的采样头设置于超高真空腔体内，且与发热板上的样品相对应，质谱仪用于获得样品的程序升温脱附质谱。本发明具有结构简单紧凑、加热效率高、降温速度快、背景干扰小，能够获得更清晰的本征信号的优点。 |
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