| 一种超细颗粒物的单颗粒质谱检测装置及方法 |
| CN202310811372.1 2023-7-3 发明申请 |
| 2023-10-3 |
| 本发明公开了一种超细颗粒物的单颗粒质谱检测装置及方法，涉及超细颗粒物检测技术领域，该装置包括：颗粒聚焦发射系统、颗粒粒径检测系统和飞行时间质谱仪；颗粒粒径检测系统包括：第一激光器、第二激光器、第一柱面镜组、第二柱面镜组、第一光信号收集单元、第二光信号收集单元和颗粒粒径检测单元；第一柱面镜组和第二柱面镜组均包括：第一柱面镜和第二柱面镜；激光器向柱面镜组发射激光束，光信号收集单元收集颗粒束经过目标光束照射后产生的散射光，颗粒粒径检测单元根据散射光，确定颗粒束中颗粒的粒径大小。本发明通过设置柱面镜组，改变了激光束的光斑形状，提高了颗粒的散射光强度和检测效率，确定了颗粒粒径和化学组分。 |
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