| 扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的控制装置 |
| CN201880095528.8 2018-7-27 发明申请 |
| 2021-3-9 |
| 悬臂(2)的顶端部具有探针(7)。光学系统(80)向悬臂(2)照射激光，检测被悬臂(2)反射的激光。测量部(14)基于根据由光学系统(80)检测到的激光的位置的变化而获得的悬臂(2)的位移，来测量试样(9)的特性。激光调整部(20)在调整激光的光轴时使激光的光斑直径大于测量试样(8)的特性时的光斑直径。摄影部(10)在调整激光的光轴时拍摄包括探针(7)的位置的范围。显示部(12)显示所拍摄到的图像。 |
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