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表面检测装置和显微镜
CN202020530252.6 2020-4-13 实用新型
2021-3-9
本实用新型提供了一种表面检测装置和显微镜,所述表面检测装置包括:光源用于发出检测光;所述检测光经过掩膜板后形成条纹光束,所述掩膜板具有条纹;所述条纹光束被第一反射镜反射,第一反射光射向物镜组;所述第一反射光被物镜组会聚在待测表面上,待测表面上的第二反射光穿过所述物镜组和第一反射镜,之后穿过成像透镜组。本实用新型具有表面检测等优点。
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