| 电子束扫描电子显微镜用于表征与电子束视线遮挡的侧壁的用途 |
| US16580325 2019-9-24 发明授权 |
| 2021-3-9 |
| 通过扫描电子显微镜(SEM)的电子束扫描半导体器件。 该区域包括具有顶部开口和侧壁的三维(3D)特征。 在改变电子束的能量值的同时对3D特征成像。 电子束照射在半导体器件的选定区域内的第一点处并与侧壁相互作用，其中第一点与顶部开口的边缘相距一定距离。 基于当在SEM成像期间电子束的能量值变化时表示边缘处的二次电子产率的信号的变化，确定侧壁是否与电子束的视线遮挡。 可以通过将测量信号与对应于各种斜率的模拟波形进行比较来确定侧壁的斜率。 |
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