| 在漂移和减速模式中具有束角控制离子注入系统 |
| US15637538 2017-6-29 发明授权 |
| 2018-7-31 |
| 一种离子注入系统，具有形成离子束的离子源。 质量分析器定义并改变沿波束路径的质量分析波束。 一种可移动的质量分辨光圈组件具有分辨光圈，其位置响应于质量分析器的光束路径的变化而选择性地改变。 偏转减速元件，所述偏转减速元件被定位成选择性地偏转所述光束路径并选择性地减速所述质量分析光束。 控制器有选择地以漂移模式和去耦模式操作离子注入系统。 在漂移模式下，控制器使质量分析光束沿第一路径通过解析孔径而没有偏转或减速，并在减速模式下使光束沿第二路径偏转和减速。 基于通过质量分析器和偏转减速元件的光束路径的变化选择性地改变解析孔径的位置。 |
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