| 真空度判定装置、真空度判定方法、真空度判定程序以及质谱仪 |
| JP2022026108 2022-2-22 发明申请 |
| 2023-9-1 |
| 要解决的问题：有效地获得离子计的测量值。 方案：一种真空度确定装置1，包括稳定性确定单元401和真空度获取单元402。 稳定性判定部401判定测定质谱仪1的真空处理室VR3内的真空度的离子计30的稳定性。 在稳定性判定部401判定为离子计30处于稳定状态之后，真空度取得部402基于从离子计30取得的测定值D1来取得真空处理室VR3的真空度。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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