质谱仪
 
WOJP22005977  2022-2-15  发明申请

2023-8-24
 
  本发明的目的在于提供一种质谱仪,其即使在将其他的系统单元等安装于质谱仪的顶部的情况下,也能够容易地进行离子光学元件的电气配线的装卸,该质谱仪具备:腔室VC,其形成真空容器; 离子光学元件MFP,其设置在所述室内部; 以及馈送器,用于从设置在所述室外部的电源向所述离子光学元件馈送电力。 在腔室的除了上表面和下表面以外的壁面的至少一部分形成有开口部OP,设置有用于封闭该开口部的侧面盖VC1。 馈线FT和电缆CA之间的连接位置以及离子光学元件(端子MT)和电缆CA之间的连接位置被设置在使得电缆CA能够在离子光学元件被容纳在腔室内部的状态下从开口侧分离的位置处。
 
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