| 离子检测器 |
| US17333129 2021-5-28 发明申请 |
| 2021-12-16 |
| 一种离子检测器，包括：微通道板，被配置为在接收入射到其上的离子时产生二次电子，并将所产生的二次电子相乘并输出； 多个电子撞击型二极管，其被配置为具有比微通道板的有效区域窄的有效区域，接收从微通道板输出的入射二次电子，并乘以和检测入射二次电子； 聚焦电极，其被配置为设置在微通道板和电子撞击型二极管之间，并且将二次电子朝向电子撞击型二极管聚焦； 以及电压供给部，其被配置为将驱动电压施加到所述多个电子撞击型二极管中的每一个。 |
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