| 高速原子力显微镜 |
| KR1020190102291 2019-8-21 发明申请 |
| 2021-3-4 |
| 公开了一种高速原子力显微镜。 根据本发明的高速核力显微镜能够调节平面方向上的位移。 1. 一种试剂2扫描仪，能够调节在垂直于平面方向的方向上的位移。 由(1)扫描器控制的位移和由(2)扫描器控制的位移可以彼此独立。 物镜将激光聚焦在放置在1台扫描仪上的样品上。 本发明还包括。 第一扫描器2可以通过耦合装置耦合到物镜。 1是第一扫描仪2和第二扫描仪可以与第一扫描仪21物理分离的例子的横截面图， 连接装置的另一侧可以具有与放置样品的表面平行的表面。 |
微信公众号