| 质谱仪和用于调节质谱仪的方法 |
| JP2022016264 2022-2-4 发明申请 |
| 2023-8-17 |
| 要解决的问题:简单和精确地调节原子团发生部分中的谐振器。 解决方案:本发明的一个实施方式所涉及的质谱仪是一种使用自由基种类使离子离解并对通过所述离解而产生的离子进行分析的质谱仪,其具备自由基生成室(400)、向所述自由基生成室内部供给高频电力的天线、根据操作者的操作调整所述天线的阻抗的阻抗调整部、以及向所述自由基生成室内部供给原料气体的原料气体供给部,还具备自由基生成部(4, 40),其通过向所述自由基生成室供给所述原料气体和所述高频电力,并在所述自由基生成室内生成等离子体,从而从所述原料气体生成自由基种类,以及信息提供部(148、46、47),其生成反映所述自由基生成室内的等离子体生成状态的电信号,并基于所述电信号向操作者提供视觉或听觉信息。选图:图1著作权:(C)2023、JPO&INPIT |