| 具有太赫兹脉冲发生器的断层扫描原子探针 |
| WOEP20070775 2020-7-23 发明申请 |
| 2021-2-4 |
| 本发明涉及一种断层扫描原子探针,包括:分析室(20),用于分析安装在抗振支撑件(21)上的纳米尖端形式的材料样品(E); 使纳米尖端达到0kelvin和室温之间的温度,纳米尖端在1kV和15kV之间的可调电压下极化,分析室包括对飞行位置和时间敏感的离子检测器(27)。 根据本发明的原子探针包括具有高峰值强度的超短单环太赫兹脉冲发生器(10), 该分析室包括用于聚焦所述太赫兹脉冲的光学装置(26),太赫兹脉冲的聚焦导致纳米尖端的原子在没有热效应的情况下通过场效应蒸发。 太赫兹脉冲由以高速率发射非常高功率的超短光脉冲的飞秒脉冲激光器产生。 |