离子分析仪
 
JP2019220232  2019-12-5  发明申请

2021-6-10
 
  [问题]减小安装离子分析器所需的空间。 [解决方案]电离室11,20和加热气体喷嘴,加热器25具有质谱仪(离子分析装置)10。 加热气体喷嘴20, 21,211,212和管状构件的壁,并具有端壁, 设置在端部211和212或221, 222中的一个或两个的周壁上的多个加热气体流入口, 两端壁211212或者直接或者壁,或者两端壁212211223设置管状构件的另一端,该管状构件的一端连接到第一壁或者周壁或者设置插入到电离室24中的加热气体出口11。 图2[图]
 
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