产业专利数据
 
保护网，涡轮分子泵和质谱仪
 
JP2020047551  2020-3-18  发明申请
2021-9-27
 
  [问题]防止与保护网相容的真空性能的下降。 设置多个排气室和与质谱仪连接的排气室， 保护网5，5为保护网，在网状网状区域50a，50b上形成有多个开口，网状区域50a具有网眼粗糙度，网状区域50b的网眼粗糙度比网眼细。 图4[附图]
 
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