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产业专利数据

扫描电镜装置及其操作方法

US16821249 2020-3-17 发明申请

2021-3-4

一种扫描电子显微镜装置，包括：电子枪，被配置为产生电子束；聚焦透镜，其被配置为聚焦来自电子枪的电子束；电子检测器，被配置为检测响应于入射到样品上的电子束而从样品发射的信号；载物台，被配置为在其上接收样品；以及在载物台的上部上的焦点校准结构。