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透射电子显微镜和成像方法
WOJP19033481 2019-8-27 发明申请
2021-3-4
本发明的课题在于,在使用透射型电子显微镜对电子衍射图进行成像时,简化操作。 为了解决该问题,本发明包括:其上投影有电子衍射图的检测器; 零阶波掩模,其可插入和移除在样品和检测器之间; 以及电流检测器,其在插入掩模的状态下能够插入零阶波检测区域和从零阶波检测区域移除。 实时测量发射到掩模的电子束的当前量,并将测量结果自动反映在透射电子显微镜中提供的成像相机的成像条件的设置中。
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