| 多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法 |
| CN202010985178.1 2020-9-18 发明申请 |
| 2021-4-13 |
| 本发明涉及多转型飞行时间质谱分析装置及其制造方法。提供一种多转型飞行时间质谱分析装置,其能够更高精度地对环绕电场的畸变进行补偿从而能够使装置小型化、提高分辨率。多转型飞行时间质谱分析装置(1)具备:主电极(21),其是在预定的环绕空间内生成使离子以环绕多次的方式飞行的电场即环绕电场的电极,该主电极(21)具有使离子向所述环绕空间导入或从所述环绕空间导出的开口(24、25);绝缘体制成的补偿电极安装件(23),其固定于主电极(21);以及补偿电极(22),其直接或借助基板(221)固定于补偿电极安装件(23)并且配置于所述开口的附近,对在所述开口的附近产生的所述环绕电场的畸变进行补偿。 |