| 用于扫描电子显微镜应用的传感器模块 |
| WOUS20047709 2020-8-25 发明申请 |
| 2021-3-4 |
| 公开了一种扫描电子显微镜(SEM)系统。 所述SEM系统包括被配置为产生电子束的电子源和被配置为横过所述样品扫描所述电子束并将由所述样品散射的电子聚焦到一个或多个成像平面上的一组电子光学器件。 所述SEM系统包括位于所述一个或多个成像平面处的第一检测器模块，其中所述第一检测器模块包括多像素固态传感器，所述多像素固态传感器被配置为将来自所述样品的散射粒子例如电子和/或X射线转换为一组等效信号电荷。 所述多像素固态传感器连接到两个或多个专用集成电路(ASIC)，所述ASIC被配置为处理来自所述传感器的一个或多个像素的所述一组信号电荷。 |
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