| 用于处理由电子显微镜产生的能量色散X射线分析数据的方法 |
| EP20193412 2020-8-28 发明申请 |
| 2021-3-3 |
| 100一种处理通过透射电子显微镜采集的EDX STEM图像的方法,包括步骤:提供101一系列EXX STEM图像,每个EXX STEM图像包括一组像素,每个像素包括至少一个单元光谱。 从整个单元光谱中进行104个主成分分析,以确定发射峰。 形成108包括所述发射峰的和谱。 对110和谱建模,以便至少确定111所述发射峰的位置。 从和谱模型对113每个单位谱建模,保持先前确定的位置。 |