具有原子力显微镜功能的机械手
 
JP2019149584  2019-8-19  发明申请

2021-3-1
 
  [A]当用原子力显微镜将外力加到机械手功能的样品上时。 [解决方案]具有探针的悬臂, 探针由基于样品量的原子力表面, 样品获取关于原子力显微镜的信息,样品台的表面以控制扫描的相对位置,样品台上施加有外力到机械手。 图1[附图]
 
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