| 一种集成电路芯片高精密表面质量控制系统 |
| CN202310275057.1 2023-3-21 发明申请 |
| 2023-4-18 |
| 本发明公开了一种集成电路芯片高精密表面质量控制系统，包括识别模块、分配模块、多个检测模块、预测模块、提醒模块、显示模块、多个酸液槽设有酸液，多个检测模块对多个酸液槽内酸液的导电率进行检测，识别模块对待清洗产品的类型进行识别，分配模块按照类型为待清洗产品分配的酸液槽，预测模块根据导电率预估换酸时间；在预设时间段内提醒电感耦合等离子体质谱仪ICP?MS测试酸液中的所有金属元素含量，测试结果超过清洗限度值阈值时需更换酸液；能够提高酸液的利用程度，有利于对多个酸液槽进行时间同步管理，降低检测成本，提高控制的智能化程度。 |
微信公众号