产业专利数据
 
离子注入机
 
JP2019103114  2019-5-31  发明授权
2023-6-5
 
  为了提供能够增加离子的辐射量的离子注入机，在离子注入机中，离子束的电流由穿过离子在引出电极22和质谱仪16之间的飞行范围的第一检测器41以及分别设置在焦点上游侧和焦点下游侧的第二和第三检测器42、43检测； 从电流值和检测电流的检测位置获得离子束光轴的偏差和焦点的偏差； 并移动引出电极22以消除偏差.选型图：图1
 
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