| 质谱仪 |
| JP2021188631 2021-11-19 发明申请 |
| 2023-5-31 |
| 所要解决的问题是提供一种能够提高检查灵敏度的质谱仪。 解决方案：本实施方式的质谱仪具备：Ω型分析装置，其具备：真空容器，其安装于分析对象物，形成高频电场的电极，其设置于真空容器的内部，形成与高频电场正交的磁场的磁铁，其设置于真空容器的外部，以及收集离子的离子收集器，其设置于真空容器的内部； 加速电极，其具有与所述离子收集器的贯通孔相对的开口； 屏蔽环，其朝向所述离子收集器而不是朝向所述加速电极延伸； 光电倍增管，其设置在所述真空室的外部； 光纤，其设置在所述真空室的内部，并且具有面向所述加速电极的开口的一端和面向所述光电倍增管的入射窗的另一端； 以及设置在所述光纤的所述一端的荧光体。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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