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产业专利数据

离子束照射装置

US17583261 2022-1-25 发明申请

2022-11-10

离子束照射装置包括真空容器，该真空容器具有内部空间，从离子源取出的离子束沿第一方向通过该内部空间。真空容器具有凹部，该凹部在离子源与质谱仪之间的区域的一部分中使内部空间在与第一方向交叉的第二方向上延伸。