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离子源和质谱仪

JP2022001998 2022-1-10 发明申请

2022-4-12

一种离子源，包括底座，第一腔室，第二腔室和提取器。第一腔室设置在基座的下游并限定具有第一压力的第一内部容积。第二腔室设置在第一腔室的下游并限定具有第二压力的第二内部容积。第二压力小于第一压力。排斥电极设置在第一腔室内。提取器设置在第二室的下游。