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一种质谱仪真空度实时监测装置

CN202211416630.8 2022-11-13 发明申请

2023-5-30

本发明公开了一种质谱仪真空度实时监测装置，包括监测机构和真空腔体，所述真空腔体一侧安装有监测机构；所述监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，所述主控系统与数据处理系统连接，所述数据处理系统与数据采集系统连接。本发明，监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，主控系统与数据处理系统连接，数据处理系统与数据采集系统连接；可实时监测真空腔体的真空度。