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原子力显微镜及其测量方法

CN201910757318.7 2019-8-16 发明申请

2021-2-23

本发明涉及一种原子力显微镜及其测量方法，所述原子力显微镜包括：至少两组探针组件，所述探针组件包括探针头、驱动装置以及悬臂梁，所述探针头固定于所述悬臂梁一端，所述悬臂梁另一端与所述驱动装置之间固定连接，所述驱动装置用于驱动所述探针组件的悬臂梁转动。所述原子力显微镜能够提高三维测量效率。