| 用于形成气体的团簇或原子离子束的装置 |
| RU2022135467 2022-12-30 发明授权 |
| 2023-5-29 |
| 领域：加速器技术。 物质：本发明特别涉及离子源，并且可以用于获得加速的簇或原子离子。 本发明可以在电离器的输出端获得稳定的定向离子流，并且可以用于解决光学、微电子学和纳米电子学的实际问题，以及用于表面研究方法，例如二次离子质谱(SIMS)和X射线光电子能谱(XPS)。 所述用于获得团簇和原子离子的装置包括安装在所述壳体和所述阳极之间的电磁铁，所述电磁铁被配置为形成感应系数至少为5mT的磁场，所述阴极由发射温度不大于900℃的金属合金材料制成。 主体被制成具有用于真空抽吸的孔，并且配备有执行电极功能的帽，其中围绕孔的帽的部分表面被制成锥形，而主体和电离区域中的帽的内表面被制成具有高达100nm厚的非晶氧化硅涂层。 效果：装置的操作特性的改善以及原子离子和簇离子的电离效率的提高。 8 cl, 4 dwg |
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