产业专利数据
 
通过扫描探针显微镜悬臂扫描探针显微镜的方法
 
JP2020073827  2020-4-17  发明申请
2021-2-22
 
  [问题]提高扫描探针显微镜的测量灵敏度。 在[A]的横截面中， 悬臂靠近样品位置，金属膜在顶部覆盖，在顶部连接有突起，突起与金属膜的上角部连接。 这里，脊线5部分4，8的上角部分被从光源发射的激发光照射到该部位的扫描探针显微镜。 图5[附图]
 
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