| 电感耦合等离子体质谱仪 |
| WOJP22022452 2022-6-2 发明申请 |
| 2023-5-25 |
| 根据本发明的ICP-MS的一个实施例包括：用于通过电感耦合等离子体电离来电离样品组分的离子源(5)； 真空室(3)，所产生的离子被引入到该真空室中； 位于真空室内部并使离子与规定气体接触的单元(10)； 质谱单元(16)，其位于所述真空室的下游并且对已经穿过所述池的离子或从其衍生的离子执行质谱分析； 第一气体导入部(23)，其向所述隔室内导入所述规定气体； 第二气体导入部(24)，其将规定气体导入真空室内部且在单元外部； 以及控制部(20、22)，其控制气体的导入，使得在使所述气体与所述池内的离子接触的状态下进行所述分析时，由所述第一气体导入部导入所述气体，并且在不使所述气体与所述池内的离子接触的状态下进行所述分析时，由所述第二气体导入部导入所述气体。 结果，可以减小在冲突测量模式和非冲突测量模式之间切换时的信号漂移。 |
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