| 用于离子束的偏转器和包括该偏转器的质谱系统 |
| WOUS22080032 2022-11-17 发明申请 |
| 2023-5-25 |
| 一种离子检测器组件，包括：第一粒子屏蔽件，包括用于接收沿第一传播轴线传播的离子束的离子进入开口； 偏转器，所述偏转器被配置为在偏转区域中产生电场，所述电场沿着偏转路径偏转所述离子束而不与所述第一传播轴线对准； 包括离子出口的第二粒子屏蔽件； 以及检测元件，所述检测元件被配置为在经由所述偏转器偏转之后将所述离子束转换并倍增为电子，其中：所述第一粒子屏蔽物相对于所述第二粒子屏蔽物成角度地延伸，所述第一粒子屏蔽物和所述第二粒子屏蔽物限定角区域，并且所述偏转器包括：第一后表面，所述第一后表面靠近所述第一粒子屏蔽物延伸； 第二后表面，所述第二后表面靠近所述第二颗粒屏蔽物延伸，所述第一后表面与所述第二后表面交汇的顶点，所述顶点靠近所述角区域设置； 以及弯曲的偏转表面，所述弯曲的偏转表面与所述顶点相对并且在所述第一后表面和所述第二后表面之间延伸。 |
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