| 能够在原位自动切换探针的低温多参量扫描探针显微镜 |
| CN202011282233.7 2020-11-16 发明申请 |
| 2021-2-19 |
| 一种能够在原位自动切换探针的扫描探针显微镜，包括：探针腔，用于固定探针转换台，所述探针转换台包括旋转式自动换针系统或平移式自动换针系统；样品台单元，包括样品台腔和三种工作模式的压电纳米位移台，所述样品台腔用于固定样品台。本发明的扫描探针显微镜的上半部分独立控制转换探针的功能，下半部分独立控制升降样品、快速搜寻样品扫描位置、扫描控制的功能。两部分连接稳固又方便拆卸，便于更换探针，也便于安装样品。 |
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