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质谱仪

CN201910350523.1 2019-4-28 发明申请

2020-10-30

本发明提供了一种小型化质谱仪，其包含一个真空腔室，且在真空腔室的两端各包含一个由平面型离子光学装置和真空接口组成的一体化结构装置。本发明可在较短的轴向长度内，构造多级真空系统，并保证高效的离子传输和聚焦。本发明简化了质谱仪离子光学系统和真空系统的构造，有利于实现质谱仪器的小型化。