| 一种质谱仪多级真空抽滤系统 |
| CN202222801013.1 2022-10-24 实用新型 |
| 2023-5-23 |
| 本实用新型公开了一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构，所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。本实用新型，涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空；通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10?6Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。 |
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