| 差分真空系统控制装置 |
| CN202223474736.1 2022-12-26 实用新型 |
| 2023-5-12 |
| 本实用新型公开差分真空系统控制装置，通过设置有升降控制阀体对气囊式隔板滑动装配结构的升降进行控制，通过气囊式隔板滑动装配结构对腔室间隔结构左右两侧连通进行阻断，腔室间隔结构左右两端分别与离子源腔室和质量分析器腔室相连通，通过按压式充放气结构对气囊式隔板滑动装配结构内的空腔气囊薄板充气，使得空腔气囊薄板膨胀封堵与导向槽的间隙，保证离子源腔室和质量分析器腔室隔断的密闭性，暂时将离子源腔室与质量分析器腔室隔断，可单独更换离子源，单独调试离子源腔室的真空环境，减少调试所需时间，减少成本及时间的消耗。 |
微信公众号