| 改进的离子导向器 |
| GB1217182 2012-9-26 发明申请 |
| 2012-11-7 |
| 离子导向器包括 : 两个相对的平面表面2和4的介电材料; 和设置在各所述平面介质表面电极装置，每个电极装置包括至少一个，优选地为平面，射频电极6a～6d，还有许多用直流平面的电极(2a～2f。至少一个RF电极被设置成锥形的暴露部分14的介电表面在它定位成使得没有直接视线从离子流动通道10所述暴露的部分14。该遮蔽结果在还原中加注暴露的介电表面上，同时整体平面结构的离子导向器降低了中性物质和电极之间的冲突量的。优选地，介电表面由平面印刷电路板(PCBs)与所述各自的电极结构的其中之一为在其上形成传统的微制造技术。 |
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