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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描探针显微镜

KR1020190114313 2019-9-17 发明授权

2021-2-17

本发明提供一种扫描探针显微镜，其在简化部件的组装结构的同时，实现扫描探针显微镜的小型化。探头传感器单元在扫描样品期间在扫描样品期间感测探头的变化。一种扫描器，包括：多个驱动部件，用于在相互正交的方向上产生驱动力；以及多个移动引导部件，其通过由所述多个驱动单元产生的驱动力与所述样品一起在相互正交的方向上移动。。