| 用于将使用扫描电子显微镜获得的样品层的图像与聚焦离子束对准的方法和系统 |
| RU2020127419 2020-8-17 发明授权 |
| 2021-2-16 |
| 场：图像处理装置。 物质：本发明涉及图像处理方法，并用于将使用扫描电子显微镜获得的层的图像与聚焦离子束对准，以用于随后构建样品的三维模型。 本发明公开了一种将使用扫描电子显微镜获得的样品层的图像与聚焦离子束对准的方法。 根据该方法，借助于具有聚焦离子束的扫描电子显微镜获得构成样品的三维图像的层的图像序列。 在显示装置上相继显示所获得的层的图像，并且确定层图像的彼此相对的图像。 基于层的图像位移的性质，选择相邻层的图像之一的变换类型，其提供相邻层的图像的对准。 效果：技术结果是使用扫描电子显微镜用聚焦离子束获得的样品各层的图像的对准，没有明显的几何畸变。 6Cl，6DWG |
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