质谱仪检测器和使用其的系统和方法
 
WOUS17032447  2017-5-12  发明申请

2018-11-15
 
  用于二次离子质谱仪的离子检测器,该探测器具有电子发射板,连接在第第一电位并且被配置成入射时发射电子,在离子;闪烁体耦合到第二电势;不同的第第一电位,该闪烁体具有面向电子发射板的前侧和后侧,闪烁器,被配置为发射从背面入射的光子电子对的前侧;光导耦合到所述闪烁体的背面和从所述背面发射的光子的流量限制闪烁体;和固态光电倍增管耦合到所述光导和具有输出被配置为输出对应的电信号,从导光板的入射光子。一种SIM的系统包括多个这样的活动设置在所述焦平面探测器的质量分析器。
 
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