| 一种质谱仪激光光路装置及质谱仪 |
| CN202223060456.6 2022-11-16 实用新型 |
| 2023-4-14 |
| 本实用新型涉及质谱仪技术领域，公开了一种质谱仪激光光路装置及质谱仪，所述激光光路装置包括激光器、第一光学机构、第二光学机构、第三光学机构、第四光学机构和离子源机构，激光器用于发射激光，第一光学机构包括透镜一和调节平台，第二光学机构包括反射镜片和承托座，第三光学机构包括衰减片，第四光学机构包括透镜二，离子源机构包括真空腔体，真空腔体中内设有离子源极片和靶片，真空腔体连接有支架，调节平台可上下移动地与支架连接，透镜一安装在调节平台上，承托座与支架连接，反射镜片可沿x轴方向、y轴方向和z轴方向移动地连接在承托座上，衰减片可绕其光轴旋转地连接在真空腔体上，实现了对光斑大小、位置和能量的调节。 |
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