| 一种使用氢氮混合气体检漏的质谱仪 |
| CN202220850743.8 2022-4-12 实用新型 |
| 2023-4-11 |
| 本实用新型涉及漏缝检测的技术领域，具体公开了一种使用氢氮混合气体检漏的质谱仪，其特征在于，包括对氢氮混合气体进行质谱检测的质谱室；所述质谱室与离子源和接收器，以及磁分析器连接；所述离子源对氢氮混合气体进行电离；所述接收器接收氢氮混合气体电离后的离子；所述磁分析器为质谱室提供磁场；还包括为氢氮混合气体提供真空检测环境的真空组件，所述真空组件与质谱室连通。该质谱仪不仅可以用氢氮混合气体作为检漏气体，而且结构简单、检测精度高，容易推广。 |
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