| 一种真空取样快速在线检测质谱仪系统 |
| CN202110889553.7 2021-8-4 发明申请 |
| 2023-4-4 |
| 本发明公开了一种真空取样快速在线检测质谱仪系统，包括毛细管真空取样组件、封闭式EI源、四级杆分析器、检测器、涡轮分子泵、膜片泵和真空腔，所述真空腔与涡轮分子泵配合连接，且涡轮分子泵与膜片泵配合连接，真空腔中设置有封闭式EI源和四级杆分析器，且真空腔与毛细管真空取样组件中的毛细进样管的一端配合连接，本发明，通过第二比例阀接收穿过限流阻尼膜的电子气体，然后气体依次通过流量传感器、分流管、进样板和毛细进样管进入真空腔内部，利用封闭式EI源将电子气体轰击为粒子碎片，进而通过检测器对各个粒子浓度进行检测，解决了实验过程中无法对混合电子气体的变化趋势及反应情况进行实时监测的问题。 |
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