| 离子检测器，质量分析器的测量装置 |
| JP2020117881 2020-7-8 发明申请 |
| 2021-2-22 |
| [问题]降低离子检测器等的暗电流可以是噪声分量。 [解决方案]离子检测器是光电倍增管，在输入侧电极电位梯度屏蔽结构中的限制空间内的输入电极以限制在所有方向上的扩散为起点，一个输入电极电连接到输入侧电缆，具有。 屏蔽结构至少在输入侧具有包围电极的结构，或者具有由1构成的多个部件。 每个构件由绝缘材料或金属材料制成。 另外，部分屏蔽结构，其电位设置在由-500V～+500V的金属网构成的窗口范围内。 图2[图] |
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