| 一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置 |
| CN202110939910.6 2021-8-17 发明申请 |
| 2023-3-31 |
| 本发明公开了具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，包括前置腔室和真空腔室，及两者之间的真空接口，前置腔室内部安装有ICP离子源组件，ICP离子源组件通过真空接口与真空腔室内的离子提取系统联结，离子提取系统后侧联结有多极杆质量分析器，之后侧联结有用于插拔式接收器，之后侧联结信号放大器；同位素分离富集装置还包括电子控制系统；本发明可以提升现有技术的电离效率，降低装置建造成本以及降低维护难度。 |
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