| 与电子显微镜一起使用的控制、布置和相应方法 |
| DE102021126210 2021-10-8 发明授权 |
| 2023-3-30 |
| 本发明的实施例涉及一种与具有电子显微镜(110)和质谱仪(124)的装置(100)一起使用的控制器(140)，其中装置(100)被配置成提供用于从待检查样品(102)去除材料的离子束(120)，以将从样品(122)去除的材料至少部分地引导到质谱仪(124)中，并且使用质谱仪(124)来确定材料的材料组成(128)， 其中设置用于基于所述材料成分(128)确定位置信息(144)的所述控制器(140)，所述位置信息(144)包括关于在所述装置(100)的操作中所述离子束(120)相对于所述样品(102)的位置(126a，126b)的信息。 本发明的其他实施例涉及这样的装置(100)及其方法。 |
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