| 一种多晶硅体金属检测前处理消解装置 |
| CN202222467637.4 2022-9-19 实用新型 |
| 2023-3-24 |
| 本实用新型公开了一种多晶硅体金属检测前处理消解装置，属于多晶硅生产技术领域，包括电热消解仪，电热消解仪上设有用于放置消解管的消解插孔，电热消解仪上方设有防护罩，防护罩一端设有惰性气体进管，防护罩另一端设有出气管。消解管内加入多晶硅、水、硝酸和氢氟酸溶液，将消解管插入消解插孔内，启动电热消解仪，溶液中的硅以SiF4的形式挥发；然后用硝酸溶液溶解残渣，用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP?MS)测定溶液中待分析金属元素的含量。本装置具有操作简单，防护罩减少外界杂质影响。 |
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