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实时薄膜厚度测量装置

WOKR22010522 2022-7-19 发明申请

2023-2-16

本发明涉及一种薄膜厚度测量装置。该薄膜厚度测量装置可以包括：在其中进行薄膜沉积的反应室；质谱仪，用于测量所述反应室中的气态副产物；以及计算单元，用于基于由质谱仪测量的数据计算薄膜厚度。