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离子检测器
CN202010429613.2 2020-5-20 发明申请
2020-11-24
本实施方式所涉及的离子检测器具备用于降低对输出信号的信号反射等的影响的构造。该离子检测器具备电子倍增部、信号输出部、信号输出端子和AC耦合器。AC耦合器配置于信号输出部与信号输出端子之间的信号线上,并且具有树脂薄片和以经由该树脂薄片而互相相对的方式配置的一对导电部。一个导电部电连接于信号输出部的输出端,另一个导电部电连接于信号输出端子。
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