| 用于质谱仪的激光光路检验装置 |
| CN202222758570.X 2022-10-20 实用新型 |
| 2023-2-17 |
| 本实用新型公开了一种用于质谱仪的激光光路检验装置，包括照度计、检验壳体、定位单元、固定单元和连接单元，定位单元具有开设在检验壳体的底壁上表面的定位槽和开设在检验壳体侧壁上的第一侧进出口，第一侧进出口与定位槽连通；固定单元具有用于固定微焦能量计的第一固定件，第一固定件通过所述第一侧进出口进出所述定位槽；连接单元将第一固定件或照度计固定在定位槽内。本实用新型的照度计和微焦能量计能通过第一侧进出口进出检验壳体；安装有激光光路系统的离子源固定在检验壳体的上开口处并与其围成检验腔室，通过照度计和微焦能量计分别快速检验激光光路系统的激光能量和光照度，测试时只需更换光路元器件即可，无需整体拆卸和反复抽时间。 |
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